Que deviennent les effluents du site de Crolles de STMicroelectronics ?

La fabrication des puces de STMicroelectronics nécessite de très grandes quantités d'eau ultra-pure. Au sein de son usine de Crolles, en Isère, les effluents qui découlent de ce processus doivent être traités avant d'être recyclés sur le site ou rejetés dans la nature.  

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Station de traitement des Effluents Liqudes
La station de traitement des effluents liquides (STEL) du site de Crolles de STMicroelectronics.

Pour produire ses plaquettes de silicium, le fabricant franco-italien STMicroelectronics consomme de très grandes quantités d’eau. Sur son site de Crolles, en Isère, le volume s’établit à près de 3 500 milliers de m3 en 2019, soit 1,9 m3 par plaquette. Une consommation qui génère autant d'effluents qu'il faut traiter soit pour les rejeter dans la nature, soit pour les recycler afin de les réutiliser en interne.

Dix éléments dans les effluents

Les semi-conducteurs conçus par STMicroelectronics sont découpés à partir d'une plaquette de silicium. Au cours des différentes étapes de fabrication, plusieurs couches d’éléments chimiques sont successivement déposées sur la plaquette ou bien retirées pour réaliser des circuits. Cela se réalise au moyen d’un pochoir – le « masque » – qui permettra une gravure par des produits abrasifs ou un dopage par implantation ionique. C’est à ces différents stades de fabrication que de l’eau ultra-pure (constituée uniquement de molécules H2O) rince la plaquette pour s’assurer que des résidus n’interfèrent pas avec les étapes suivantes.

À l’issue de la fabrication, ce sont autant d'eaux usées chargées en polluants qui sont rejetées. Ici, ce sont dix éléments qu'il faut traiter dans la station de traitement des effluents liquides du site : l’aluminium, le cuivre, les hydrocarbures, les fluorures, le phosphore, l’ammoniaque, le niveau d’acidité/basicité, les matières en suspension, la demande chimique en oxygène et la demande biochimique en oxygène.

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350 m 3 d’eau par heure rejetés dans la nature après traitement

Les effluents du site de Crolles suivent un traitement en plusieurs étapes : traitement physico-chimique, traitement stripping (à base d’ammoniaque), traitement biologique et un polissage en fin de parcours. Des boues sont récupérées à différentes étapes afin d'être revalorisées. « Pour des substances comme l’ammoniaque, on extrait les matières azotées qui peuvent, par exemple, représenter un apport dans les engrais », détaille Éric Gerondeau, le directeur du site de Crolles. Des effluents liquides comme des solvants peuvent, quant à eux, être brûlés pour l’alimentation du chauffage. Suez est le partenaire de ST pour la valorisation de ses effluents.

Schéma effluents ST (3)
Schéma effluents ST (3) Schéma effluents ST (3)

Schéma du traitement des effluents du site de Crolles de STMicroelectronics. Sources : STMicroelectronics.

Une fois l’eau traitée, elle est soit rejetée dans la nature, soit réutilisée au sein de l’établissement. Selon la déclaration environnementale du site de Crolles de 2019, 350 m 3/h d’effluents sont rejetés dans la nature après traitement. « Pour chaque élément traité, nous sommes au-dessous des valeurs fixées par les arrêtés préfectoraux », certifie Éric Gerondeau. Un tiers des effluents est recyclé et réinjecté au sein du site, en majorité pour générer de l’eau ultra-pure, le restant étant dédié pour d’autres usages industriels.

Avec l’augmentation des capacités de production du site, les capacités de traitement s’agrandissent en conséquence, indique le directeur du site de Crolles, sans toutefois avancer de chiffre à ce sujet.

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