Avec son usine virtuelle, l’Imec, centre belge de recherche en microélectronique, à Louvain, crée une plateforme de modélisation de l’impact environnemental de la production de puces. Cette plateforme permet d’évaluer les conséquences des choix de fabrication, d’identifier les améliorations possibles et d’obtenir des projections dans l’avenir. Un travail qui se focalise sur deux étapes clés de fabrication : la lithographie et la gravure.
La production de puces se caractérise par un fort impact environnemental en raison de sa gourmandise en énergie, en eau et en produits chimiques, et par l’usage de nombreuses substances dangereuses. Selon l’Imec, ses émissions de CO2 pourraient quadrupler au cours de la prochaine décennie si rien n’est fait pour les limiter.
Ses chercheurs ont quantifié l’incidence sur l’environnement des étapes de structuration de circuits intégrés logiques pour des finesses de gravure de 28 à 3 nanomètres. Ils ont notamment démontré que la lithographie et la gravure sont responsables de 45% des émissions de carbone du processus de fabrication en 3 nanomètres. Ils ont également mis en évidence l’intérêt de bien doser la lithographie extrême ultraviolet (EUV), nécessaire à la fabrication des puces les plus avancées de 7 nanomètres et moins.
L’Imec complète sa plateforme virtuelle par son usine physique pour explorer en réel l’impact des processus de fabrication et des orientations de conception. C’est ainsi qu’il a démontré la possibilité de recycler 70% de l’hydrogène injecté dans les opérations de gravure. Les modèles d’optimisation sont continuellement étalonnés et validés en partenariat avec des équipementiers.
Vous lisez un article de L'Usine Nouvelle 3717 - Avril 2023
