Pénétrer ici ne se fait pas sans montrer patte blanche. Chacun, sans exception, doit pratiquer le même rituel pour s’équiper. D’abord enfiler des sur-chaussures pour ne pas souiller le sol. Ensuite se coiffer d’une charlotte. Là, une porte vitrée coulisse sur un second sas. Place à l’équipement final. Gants en latex et blouse intégrale – blanche pour le personnel, bleue pour les visiteurs – et à nouveau des sur-chaussures, avec semelles cette fois-ci. Prêts à entrer ? Ultime précaution, une bande adhésive collée au sol retient les dernières impuretés qui se seraient collées aux souliers.
Bienvenue dans la salle blanche du CEA-Leti, le laboratoire de micro et nanotechnologies situé à Grenoble (Isère). Ici, 12 000 mètres carrés de salles à l’atmosphère contrôlée abritent 600 machines des impuretés du monde extérieur. Cela représente 1 milliard d’euros d’investissement.
Créé en 1967, le Laboratoire d’électronique et de technologie de l’information (Leti) est au cœur de l’écosystème industriel et scientifique de la région. Son rôle : développer des technologies pour en faire une réalité économique dans les secteurs de l’énergie, des technologies de l’information, de la santé et de la défense. Construit sur la presqu’île grenobloise, où le CEA et le CNRS se sont installés entre 1956 et 1962, le Leti s’intègre dans Giant (Grenoble innovation for advanced new technologies), un pôle scientifique mondial rassemblant huit partenaires, académiques et de recherche, depuis 2008.
Là, l’institut valorise son activité via la création de start-up – 68 depuis sa naissance – ainsi que par des collaborations industrielles. "Le CEA ne finance que 15 % du budget annuel [de 315 millions d’euros, ndlr] du Leti, rappelle Jean-René Lèquepeys, le directeur des programmes du laboratoire. Ce financement est limité pour nous inciter à travailler avec des entreprises." Une stratégie payante : hors CEA, plus de la moitié des financements du Leti sont issus de partenariats industriels. Le reste provient de contrats institutionnels.
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Noms de code
Habillé d’une blouse bleue, Philippe Sandri, de la société voisine Soitec, présente le laboratoire commun dont il a la charge. Onze machines – coûtant chacune entre 1 et 5 millions d’euros – constituent une ligne pilote destinée à fabriquer des composants en carbure de silicium. Une nouvelle technologie que l’entreprise, créée en 1992 par le CEA, veut utiliser pour fabriquer des composants de puissance équipant à moindre coût les véhicules électriques. "Nos recherches portent sur le nouveau matériau ainsi que sur les procédés de fabrication, présente-t-il. Nous allons livrer des premiers prototypes d’ici à la fin de l’année."
Déjà, de nombreux disques de semi-conducteurs (wafers) de tailles différentes – 150 à 300 millimètres de diamètre – s’empilent sur les étagères. "Plus nous avançons en maturité technologique, plus nous travaillons en lien avec les industriels, relate Christophe Billard, le responsable grand compte au CEA pour le dossier Soitec. Peu de partenaires ont, comme ici, installé leurs propres machines." Désormais indépendante, l’ex-start-up est devenue un partenaire privilégié du Leti : financé à hauteur de 10 millions d’euros par an, sa collaboration mobilise 20 chercheurs de l’industriel – la moitié travaillant sur la ligne pilote – et 50 de l’institut.
"Notre collaboration dépasse la recherche scientifique, argue Jean-René Lèquepeys. L’entreprise nous partage sa stratégie à long terme pour que nous adaptions nos axes de recherche." Cet accompagnement, et la révélation d’informations confidentielles qu’il suppose, obligent le Leti à la discrétion. Seules deux personnes connaissent l’ensemble des partenaires du centre. Les autres se contentent de noms de code. Quelques partenariats restent publics : la collaboration avec l’américain Intel sur le calcul haute-performance, le laboratoire commun du japonais Horiba Medical sur la microfluidique et les capteurs médicaux, ou encore celui créé avec le français Radiall en 2019 pour concevoir des composants de radiofréquence adaptés aux réseaux 5G.
Sur le bout d’un doigt, Gunther Haas, le cofondateur de Microoled, présente son produit phare : un écran haute-définition de la taille… de deux grains de riz. Son entreprise a été créée en 2007 par le Leti après le rachat des brevets. "Au début, l’institut nous a mis à disposition ses instruments, se souvient le cofondateur. Nous avons désormais notre ligne de production dans Minatec [un campus rassemblant chercheurs, étudiants et industriels dans l’enceinte de Giant] et notre partenariat avec le Leti s’est réorienté vers des recherches en amont. "
Le vaste bâtiment blanc et noir de Minatec bénéficie de ses propres salles blanches. Elles sont reliées à celles du Leti par un mini-tramway aérien à l’atmosphère confinée : la liaison blanc-blanc. C’est dans les salles blanches de Minatec que Microoled a installé sa ligne de production pour fabriquer ses micro-écrans et, depuis peu, des lunettes intelligentes comprenant un affichage numérique pour différents équipementiers sportifs, Julbo (Bourgogne-Franche-Comté) et Uvex (Allemagne) en tête.
Plus de 3 000 brevets en portefeuille
Le succès commercial de cette nouvelle stratégie bénéficiera au Leti comme actionnaire, mais aussi en tant que détenteur des brevets technologiques. "En général, lorsqu’une entreprise réalise un chiffre d’affaires grâce à une technologie que l’on a développée, elle nous verse une redevance, rappelle Jean-René Lèquepeys. Nous ne cédons jamais un brevet."
Et pour cause : le Leti entretient et valorise son portefeuille de plus de 3 000 brevets auprès de nombreuses entreprises. Son activité, qui consiste à emmener des technologies de la preuve de concept à la maturité, donne naissance à 330 brevets par an. Faisant de ce centre de recherche un acteur incontournable de l’économie des nanotechnologies. En France comme dans le monde.
