En observant la salle blanche derrière des vitres panoramiques, un recoin baigné de lumière jaune attire l'œil des visiteurs. «C'est une salle dédiée à la photolithographie », explique Philippe Combette, le directeur de l'Institut d'électronique et des systèmes (IES). Quelques étudiants s'activent dans cet îlot doré. Des motifs précis sont transférés sur plaquette de silicium par exposition aux UV. Pour voir à quoi cela ressemble, il faut regarder au microscope un prototype d'accéléromètre thermique à convection (projet ANR-Astrid-DGA).
Trois fils de platine sont suspendus au-dessus du support en silicium. Ils mesurent un gradient de température dont l'accélération est déduite. « La mesure de l'accélération repose sur la convection thermique, détaille le directeur. Ce capteur a été entièrement fabriqué par nos soins. Ce travail d'ingénierie est la base de notre activité. »
La salle blanche ISO 7 de 400 m2, propriété de l'université de Montpellier, se situe au rez-de-chaussée de l'IES. Dans ce bâtiment récent, 240 personnes s'affairent autour de cinq axes de recherche: capteurs et instrumentation, matériaux, photonique et ondes, énergie, fiabilité et systèmes en environnement contraint. « Nous sommes des physiciens appliqués, nous travaillons pour la sécurité, la santé, l'environnement ou encore la communication, indique Philippe Combette. Nous sommes reconnus pour notre expertise en environnement contraint. » À l'origine d'une dizaine de brevets et de deux à trois transferts de technologie par an, l'IES poursuit l'objectif de « faire véritablement de l'innovation, c'est-à-dire amener une idée jusqu'à son marché», vante son directeur.
Le laboratoire peut s'appuyer sur ses compétences depuis le matériau jusqu'au prototype, couvrant les niveaux TRL 3-4 à 6-7. Pour retracer la genèse de l'accéléromètre, il faut passer de salle en salle à travers des couloirs aux couleurs pop. L'une d'elles, dédiée au dépôt de couche mince par évaporation par canon à électrons, permet de déposer du platine sur une plaque de silicium. «Cet accéléromètre a été développé pour des applications défense et doit donc mesurer des accélérations de plus de 100 000 g », commente Philippe Combette. Le platine est structuré en salle blanche, puis l'accéléromètre est encapsulé dans une résine, pour aboutir à un dispositif compact. Le capteur passe enfin par la salle de caractérisation et de vieillissement.
L'institut, dont l'ambition est d'« amener une idée jusqu'à son marché », s'est doté d'un centre d'ingénierie unique en son genre.
Afin de renforcer les liens entre recherche et industrie, l'instituts'est doté d'un pôle unique en son genre en France : l'IES Engineering. Ce centre d'ingénierie est chargé de valoriser et de transférer les résultats des travaux de la recherche publique vers les acteurs du monde socio-économique. Des partenariats sont créés dans ce sens. « Nous mettons à profit l'infrastructure, les équipements et les expertises de l'IES pour répondre aux demandes des industriels, affirme Yves Elkaim, le responsable du centre. Depuis sa création en 2018, cette structure a permis d'accompagner sept projets, pour une dotation totale de 1,9 million d'euros.
L'un d'eux, une trottinette électrique, trône au milieu de la salle. « On dit vecteur, pas trottinette », précise Yves Elkaim. L'engin n'a en effet rien d'enfantin. Il sert à transporter une caméra infrarouge, installée au bout d'un bras articulé. « La société Ceneau nous a sollicités pour développer un système de détection des fuites d'eau à partir d'un imageur infrarouge qu'ils avaient acheté, relate Yves Elkaim. Ils souhaitaient l'intégrer à une remorque de voiture. Nous avons tellement réduit la partie électronique et la consommation d'énergie que nous sommes passés d'une remorque à une trottinette !»L'outil-inédit-s'adapte particulièrement aux environnements urbains, et un pré-brevet a été déposé.
L'IES Engineering permet de développer un modèle vertueux pour l'industrie comme pour la recherche. «Depuis quelques années, les crédits se réduisent. Seuls 6,6 % de notre budget de fonctionnement proviennent de nos tutelles », déplore Philippe Combette. « Les projets assurent aux équipes contributrices un retour fi nancier, en équipement et en personnel, qui alimente leur effort de recherche», ajoute Yves Elkaim. Ainsi, un drone marin de surface acquis dans le cadre d'un projet IES Engineering permet aux chercheurs de disposer d'un nouveau vecteur pour y tester des capteurs.
« Cela va même plus loin, car l'IES Engineering travaille désormais sur des capteurs et systèmes destinés au milieu marin : nautisme, aquaculture, grands fonds, parcs marins ou encore énergies marines renouvelables », poursuit Philippe Combette. Confiant dans la pérennité du modèle, Yves Elkaim confie que le CNRS étudie actuellement la possibilité de le transposer à d'autres laboratoires de l'Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes. D'autres visiteurs pourraient bien passer admirer le panorama de la salle blanche.
Un accéléromètre thermique à convection
Cet outil est composé de ponts de platine suspendus au-dessus d'une cavité. Le fil central est chauffé et, de part et d'autre, deux fils mesurent la température du fluide contenu dans la cavité. Une accélération modifie les mouvements de convection au sein du fluide : les deux détecteurs enregistrent alors une différence de température.
